摘要: 溅射MoS_2膜显微结构的生长可分为与膜厚有关的三个阶段:(1)成核时形成突起,(2)等轴转化区域和(3)针状结构。每个生长阶段是依据微晶的大小、形状和排列方向来表征的。有效润滑膜的厚度是依据滑动试验时显微结构生长阶段来确定的,此膜在柱状结构区域有破裂的倾向,实际润滑由保留下的0.18～0.22微米厚的膜来完成。为了评价溅射MoS_2膜的完整性还提出了一种直观的方法。润滑性能是用擦抹前后的光学性能变化来识别的,微晶的取向导致所观察到的光学上反射性的变化。