摘要: 椭圆仪可用来测量固体表面和表面膜的光学性质及膜厚。其优点是仪器简单,制样和测量方便。膜厚的测量范围从几埃()到数千埃()。缺点是表面光洁度和污染膜会影响测量结果。椭圆仪工作原理示意图见图1。 单色光经过起偏棱镜和λ/4补偿器后,形成平面偏振光,然后入射到被研究的物体表面上,当振动平面与入射面成45℃,时,入射光的两个分量,即与入射平面平行或垂直的两个分量在相位和振辐上是相同的,但当从平面上反射之后,其强度和相位都发生变