摘要: 采用直流电源，以有机溶剂作为碳源，通过电化学沉积方法在单晶硅表面制备了类金刚石碳薄膜．用原子力显微镜、拉曼光谱仪和傅立叶红外光谱仪等表征了薄膜的结构，用DF-PM型动-静摩擦系数精密测定仪考察了薄膜的摩擦学性能．结果表明：电化学沉积含氢类金刚石碳薄膜的硬度较高(约14GPa)，薄膜均匀、致密，表面粗糙度小；在室温干摩擦条件下，薄膜同GCrl5钢以及α-Al2O和Si3N4陶瓷对摩时的摩擦系数随载荷增加而略微减小；陶瓷材料／类金刚石碳膜的摩擦系数较低，钢／类金刚石碳膜的摩擦系数较高；类金刚石碳薄膜同Si3N4陶瓷对摩时呈现断裂剥落特征；同GCrl5钢对摩时发生转移并形成转移膜，耐磨寿命缩短．