摘要: 采用双靶反应磁控溅射法在不锈钢基体表面沉积Ti-Al二元金属间化合物薄膜,采用改变基体相对于靶材位置的方法调整薄膜中Al和Ti含量,通过对薄膜成分和结构表征以及摩擦系数测定,并结合Ti-Al合金相图系统研究不同成分薄膜的摩擦磨损特性.结果表明:随着薄膜中Al含量在43.20at%～67.89at%之间改变,薄膜的摩擦系数处于0.05～0.30之间;当薄膜中Al含量为45.59at%时,薄膜的摩擦系数最小,为0.05,且Al含量为43.20at%～48.23at%的薄膜的摩擦系数均小于0.10;当Al含量大于48.23at%时,随着Al含量的增加,薄膜的摩擦系数增至0.32;当Al含量为43.20at%～48.23at%时,薄膜中形成了α2-Ti3Al γ-TiAl两相共存组织,具有减摩效果的同时,使其磨损率降低12.57%～38.41%.