摘要: 本文是一篇文献综述,介绍了真空沉积类金刚石碳膜(DLC膜)、无定性碳膜(a-c膜)和石墨膜的几种制备方法及设备,以及这些膜的性能,特别着重地介绍了与摩擦学应用有关的性能。