AISI304钢表面低电压等离子体基离子注入层摩擦磨损性能研究
Tribological Behavior of the Modified Layers of AISI304 Stainless Steel Implanted with Low voltage Plasma source Ion Implantation
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摘要: 采用高频低电压等离子体浸没离子注入(HLPIII)技术对AISI304不锈钢表面进行了氮离子注入处理;用球-盘摩擦磨损试验机考察了注入处理后钢表面改性层的摩擦磨损性能;用扫描电子显微镜(SEM)、俄歇电子能谱仪(AES)和X射线衍射(XRD)考察了改性层的相组成、N元素的深度分布及磨损机理。研究结果表明:HLPIII处理能够显著提高样品的摩擦学性能,且其摩擦学性能对温度有较大的依赖性,400℃下处