ISSN   1004-0595

CN  62-1224/O4

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离子镀碳膜

离子镀碳膜[J]. 摩擦学学报, 1985, 5(1).
引用本文: 离子镀碳膜[J]. 摩擦学学报, 1985, 5(1).
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离子镀碳膜

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  • 摘要: 利用电弧或电子枪蒸发源的离子镀工艺可成功地沉积碳膜。该膜具有良好的粘结性、耐磨性以及低的摩擦系数。 衍射分析表明,沉积的碳膜呈石墨状态。本文介绍镀膜工艺、膜的粘结性、摩擦磨损试验以及衍射分析等。
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