ISSN   1004-0595

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脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究

脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究[J]. 摩擦学学报, 2003, 23(3): 179-182.
引用本文: 脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究[J]. 摩擦学学报, 2003, 23(3): 179-182.
shu
Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition[J]. TRIBOLOGY, 2003, 23(3): 179-182.
Citation: Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition[J]. TRIBOLOGY, 2003, 23(3): 179-182.
shu

脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜摩擦磨损特性研究

基金项目: 

:国家863计划资助项目(2001AA883010)，国家自然科学基金资助项目(50271053).

Tribological Characteristics of TiN and TiCN Hard Coatings Prepared by Pulsed D.C. Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition

摘要

    摘要
  • 摘要: 对比研究了脉冲直流等离子体辅助化学气相沉积TiN和TiCN薄膜的摩擦磨损特性，用扫描电子显微镜、X射线衍射仪及销-盘摩擦磨损试验机分析薄膜形貌和结合力，考察了不同沉积条件下2种薄膜的摩擦磨损过程及其影响因素．结果表明，TiCN薄膜具有较高硬度、良好的膜基结合力，相对于TiN薄膜而言表现出更低的摩擦系数和更好的耐磨性能．在实际使用中应注重成分和结构优化设计，以保证薄膜具有良优良的减摩性能．
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  • 修回日期:  2002-08-11

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