摘要: 在Si(100)基片上制备晶态ZrO2薄膜，考察了薄膜的摩擦学性能和摩擦磨损机制。结果表明：在低负荷（0．5N）下，ZrO2薄膜与GCr15钢球和Si3N4陶瓷球对摩时具有优良的抗磨减摩性能，在滑动5000次时的摩擦系数分别为0．14和0．13；但随着负荷和滑动速度的增大，薄膜的耐磨寿命降低，摩擦系数增大。采用扫描电子显微镜对薄膜磨痕表面形貌进行观察分析，发现在较低负荷和滑动速度条件下，ZrO2薄膜的磨损机制为轻微擦伤；而在相对较高的负荷和滑动速度条件下，其磨痕表面呈现塑性变形，严重擦伤和断裂剥落特征。